Станция предназначена для эксплуатации в макроклиматических условиях с умеренным и холодным климатом в лабораторных помещениях при температуре окружающей среды от 0 °С до 40 °С при влажности от 30% до 85%.

Параметры:

• Диаметр держателя полупроводниковых пластин: 200 мм

• Тип привода держателя полупроводниковых пластин: моторизованный

• Угол поворота стола: ±10°

• Напряжение питания: 230 В (50 Гц)

• Измерения: по постоянному току, высокочастотные (до 67 ГГц)

• Точность позиционирования достигает 3 мкм, обеспечивается применением оптических датчиков линейного перемещения.

• Масса и габариты:

 - габариты, мм: 560 × 700 × 680

 - масса, кг: 180