Станция предназначена для эксплуатации в макроклиматических условиях с умеренным и холодным климатом в лабораторных помещениях при температуре окружающей среды от 0°С до +40°С при влажности от 30% до 85%.

Параметры:

• Диаметр держателя полупроводниковых пластин: 150 мм

• Тип привода держателя полупроводниковых пластин: пневматический / винтовой

• Точное перемещение по осям XY: 25 мм

• Тип рабочего стола: П-образный

• Подъем стола: перемещение – 0,2 мм, загрузка пластины – 2,0 мм

• Угол поворота стола: ±5°

• Измерения: по постоянному току, высокочастотные (до 67 ГГц)

• Масса и габариты:

 - габариты, мм: 600 × 480 × 480 

 - масса, кг: 50