Требования к рабочей поверхности гетероструктур

Рабочая поверхность гетероструктур должна быть блестящей, без трещин и жировых пятен.

На рабочей поверхности допускаются:

• риски в количестве не более 10 шт., суммарной длиной, не превышающей половины диаметра гетероструктуры;
• матовые пятна суммарной площадью не более 5 % от площади гетероструктуры;
• единичные дефекты плотностью не более 3 шт./см².